소형 진공 펌프는 가스를 주요 작동 매체로 사용하는 펌프입니다. 장기간 공회전 및 무급유 운전에 적합한 이 제품은 다이어프램을 구동하여 진공(부압)을 생성하고 모터- 구동 왕복 운동을 통해 가스 흡입 및 배출을 수행합니다. 이 장치에는 흡입 노즐과 배기 노즐이 모두 있습니다. 특수 모델에는 다양한 작동 조건에 적응할 수 있는 이중-흡입/팽창 모델과 물/가스 모델이 포함됩니다.
핵심 구성 요소에는 다이어프램 펌프와 진공 컨트롤러가 포함됩니다. 대표적인 제품은 Busch RA0020F(펌프 속도 20m³/h, 최종 압력 0.1mbar)입니다. 기술 개발은 자기 부상 기술, 오일{5}}프리 윤활 기술 및 환경 친화적인 설계를 통합하여 소형화, 에너지 효율성 및 지능화에 중점을 둡니다. 주요 응용 분야로는 의료 장비(흡입 장치, 인공호흡기), 환경 모니터링, 반도체 제조, 신에너지 산업 등이 있습니다. 2024년 국내 시장 규모는 50억 위안에 이를 것으로 예상된다.